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宽范围真空计 (WRG) 系列在从大气压到 10-9 mbar 的压力下提供单接口压力测量结果,并且提供线性输出。它是紧凑型的解决方案,所需空间和连接硬件均减少了一半,这对很多应用来说是非常重要的优势。WRG 具有很多新颖的特点,包括获得的放电器、按钮校准、设定点控制和全面的诊断功能。WRG 是经济高效的真空管理解决方案,可以与 Edwards 控制器一起使用,也可以直接集成到真空系统控制中。
宽范围真空计 (WRG) 系列在从大气压到 10-9 mbar 的压力下提供单接口压力测量结果,并且提供线性输出。它是紧凑型的解决方案,所需空间和连接硬件均减少了一半,这对很多应用来说是非常重要的优势。WRG 具有很多新颖的特点,包括获得的放电器、按钮校准、设定点控制和全面的诊断功能。WRG 是经济高效的真空管理解决方案,可以与 Edwards 控制器一起使用,也可以直接集成到真空系统控制中。



任何需要在很宽的范围内测量压力的真空系统。具有 AGD 的 WRG 代表一种用于实现此目标的非常简单和极为经济高效的手段。
对于可能要将真空计直接集成到制程控制器中的工业 OEM 而言,线性输出和平衡使 WRG 成为一种富有吸引力的选择。
WRG 适合在多种 HV 和 UHV 应用领域中使用。但是,如果制程在 5x10-4 和 5x10-3mbar 之间花费的时间非常多,Edwards 建议采用独立的 APG100 皮拉尼真空计和 AIM 潘宁真空计,因为这样将提高真空计在应用中的可靠性。
| 压力范围 | 大气压至 10-9 mbar/Torr |
| 准确度 * | 通常为 ±15% <100 mbar 以及 ±30%<10-3mbar |
| Z大过压 | 6 bar (87 psia) |
| 电源供给 | +14.5 至 +36 V 直流 |
| 功耗 | 2 W(Z大) |
| 输出信号 | 1.8 至 10.2 V 直流 |
| 调节 | 大气压和设定点 |
| 设定点 | 开路集电极晶体管 |
| Z大电压 | 40 V 直流 |
| 电流 | 100 mA Z大 |
| 温度范围 | |
| 工作 | +5 至 +60 oC |
| 存储 | 0 至 +70 oC |
| 暴露于真空中的材料(NW 和 CF 型) | 不锈钢(AISI 304、316、321、347)、氟橡胶、钠钙玻璃、钨、微量镍和镍铁 |
| 内部体积 | 26 cm3 |
| 重量 | 0.8 kg |
| 外部接口连接器 | 8 路 FCC68/RJ45 插座 |
| 接口电缆 | 有源真空计电缆的使用范围 |
| 标准 | |
| 电磁兼容性 | EN 61326 工业地点,B 类排放 |
| 机箱等级 | IP40 |
| 针脚分配 ** | |
| 1.电源供给正极 | 5.信号共用 |
| 2.电源供给共用 | 6.设定点输出 |
| 3.压力表输出 | 7.大气压校准 |
| 4.压力表标识 | 8.未连接 |