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SKY® CDG025D真空计
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详细信息
SKY® CDG025D 0.1 ... 1000 托 / 毫巴
INFICON SKY CDG025D 电容隔片真空计系列的高精度 温度补偿型压力计可以在恶劣的 生产加工环境中提供稳定性能。 高级数字电子元件用于改进 真空计的性能，具有一键调零功能 和设定点调整等易于操作的特性。 防腐蚀超纯陶瓷传感器提供 优异的零点稳定性， 预期使用寿命长达数百万次压力循环（包括气压突变）。 的传感器屏蔽（正在申请）用于保护 真空计，使其免受加工污染。 坚固的机械设计和数字 电子元件可以改进电磁兼容性 (EMC)、长期稳定性和温度 补偿。 CDG025D 电容隔片真空计为开机后快速稳定 以及从大气气压中快速恢复的功能树立了新的标准。
益处
全刻度范围从 100 毫托 … 1000 托
电源接通后快速稳定
暴露于大气压后快速恢复
防腐陶瓷传感器
的长期信号稳定性
温度补偿
传感器防污染保护
一键调零功能
电源范围广
典型应用
用于刻蚀、CVD、PVD、ALD 的半导体生产设备
数据存储和显示制造设备
工业真空设备
常规高精度压力测量
规格
| 类型 | 1000 Torr / 1100 mbar | 500 ... 10 Torr / mbar | 1 Torr / mbar | 0.25 Torr | 0.1 Torr / mbar | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 精度 (1) | % of reading | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.25 | 0.5 |
| 温度效应 | ||||||
| 零点 | percent FS/°C | 0.005 | 0.005 | 0.015 | 0.02 | 0.02 |
| 满量程 | % of reading / °C | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.03 | 0.03 |
| 分辨率 | percent FS | 0.003 | 0.003 | 0.003 | 0.003 | 0.003 |
| 压力，Z大 | kPa (absolute) | 400 | 260 | 260 | 130 | 130 |
| 反应时间 (2) | ms | 30 | 30 | 30 | 130 | 130 |
| Z低读数 | percent FS | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 |
| 建议的Z低读数 | percent FS | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 |
| 建议的Z低控制压力 | percent FS | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
| 温度 | ||||||
| 运行（环境） | °C | +5 … +50 | +5 … +50 | +5 … +50 | +5 … +50 | +5 … +50 |
| 在法兰处烘烤 (3) | °C | ≤110 | ≤110 | ≤110 | ≤110 | ≤110 |
| 贮存 | °C | –40 … +65 | –40 … +65 | –40 … +65 | –40 … +65 | –40 … +65 |
| 电源电压 | V (dc) | +14 … +30 | +14 … +30 | +14 … +30 | +14 … +30 | +14 … +30 |
| 功耗 | W | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
| 输出信号（模拟） | V (dc) | 0 … +10 | 0 … +10 | 0 … +10 | 0 … +10 | 0 … +10 |
| 保护等级 | IP 30 | IP 30 | IP 30 | IP 30 | IP 30 | |
| 标准 | ||||||
| CE 合规 | EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS | |
| ETL 认证 | UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 | UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 | UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 | UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 | UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 | |
| 电气连接 | D-sub, 15 pole, male | D-sub, 15 pole, male | D-sub, 15 pole, male | D-sub, 15 pole, male | D-sub, 15 pole, male | |
| 设定点 (4) | ||||||
| 设定点数量 | 2 (SP1,SP2) | 2 (SP1,SP2) | 2 (SP1,SP2) | 2 (SP1,SP2) | 2 (SP1,SP2) | |
| 继电器触点 | 30 | 30 | 30 | 30 | 30 | |
| 滞后 | percent FS | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
| 暴露于真空的材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70(5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70(5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70(5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70(5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70(5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass | |
| 内部容积 | ||||||
| 1/2'' 管 | cm³ (in.³) | 3.6 (0.22) | ||||
| DN 16 ISO KF | cm³ (in.³) | 3.6 (0.22) | ||||
| DN 16 CF-R | cm³ (in.³) | 3.6 (0.22) | ||||
| 8 VCR® | cm³ (in.³) | 3.6 (0.22) | ||||
| 重量 | ||||||
| 1/2'' 管 | g | |||||
| DN 16 ISO KF | g | |||||
| DN 16 CF-R | g | |||||
| 8 VCR® | g | |||||
(1) 25 °C 环境温度时非线性、滞后、可重复，运行 2 小时后不产生温度效应。
(2) 增加 10 … 90 % FS
(3) 非运行
(4) 仅适用于 CDG025D-S
(5) 28% 镍、23% 钴、49% 铁
(6) 18% 铬、10% 镍、3% 钼、69% 铁
零件号
