仪器名称：电子探针X射线显微分析仪

型 号：EPMA-1600

生产厂家：日本岛津公司

仪器简介：日本岛津公司的EPMA－1600型电子探针，由四道谱仪、八块分光晶体组成。此仪器不仅有较高的X射线检出角，同时由于使用全聚焦的X射线分光晶体，能兼顾X射线检测的高灵敏度和高分辨率，并配有高稳定的电子光学系统，真空系统及高精度机械系统以及牛津X-射线电制冷能谱仪，是目前的微区成分定量分析和形貌观察的大型科研仪器之一。

仪器主要特点及技术指标：

l 分析元素范围： 4Be～94Pu

l 电子束流稳定性：好于1.5×10^-3/H

l 二次电子像分辨率：6nm

l 加速电压：0~30kV

l X射线检出角：52.5°

l 放大倍数：50×～300,000×

l 分析速度：自动全元素定性分析时间≤60s

l 样品尺寸：100mm´100mm´50mm

l 样品台最小移动间距为0.01微米，机械系统精密度高

l 可观察二次电子像（SEI)，背散射电子像(BEI)，吸收电子像，光学显微像，X射线面分布像等。兼顾微区成分定量分析和形貌观察

仪器主要功能及其用途：

l 非破坏分析（分析时，被分析样品不会损坏，可以实现同点重复分析）

l 微米尺度的空间分辨分析

l 轻元素的定量分析

l 元素的面分布分析

l 痕量元素的成分分析