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三坐标激光干涉仪和步距规校准
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公司配置美国光动激光干涉仪，20mm区段0级步距规，测量线性精度检测、直线度、平面度、垂直度、角偏、机床的主要误差转而变成垂直度误差和直线度误差。为了达到高的机床三维空间定位精度，机床上所有的3个位移误差、6个直线度误差和3个垂直度误差都必须得到测量与补偿。对测量设备做21项误差补偿修正。
