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BPG552 inficon热电离真空计
初级会员第11年
代理商nficon热电离真空计BPG552-德国赫尔纳(大连)公司
inficon热电离真空计BPG552总部直接采购,原装,货期,支持选型,为您提供一对一解决方案:赫尔纳大连公司在中国设有多个个办事处,可为您提供的维修服务。
INFICON公司简介
INFICON是仪器,关键传感器技术和过程控制软件的提供商,这些产品可复杂工业真空工艺的生产率和质量。这些分析,测量和控制产品对于空调/制冷和汽车制造中的气体泄漏检测。对于光学和平板显示器,太阳能电池和工业真空镀膜应用中的半导体和薄膜镀膜的复杂制造,它们对于设备制造商和终用户。我们基于真空的工艺的其他用户包括生命科学,研究,航空航天,包装,热处理,激光切割和许多其他工业工艺。
对于需要测量范围从 UHV (5 x10 -10 ) 到 ATM (1000 mbar) 的应用,Trigon™ 系列包括双技术 BPG552 仪表。BPG552 由 Bayard-Alpert 热电离传感器元件和经典、坚固且可靠的 Pirani 传感器元件组成。支持的 Bayard-Alpert 双灯丝提供的精度、可重复性和使用寿命。
inficon 热电离真空计BPG552优点
ü 双量规(2 个传感元件)可实现宽测量范围、降低成本并节省空间
ü Bayard-Alpert 系统的 2 根灯丝
ü 皮拉尼联锁保护以避免灯丝过早烧毁
ü 自动高真空皮拉尼调节减少了操作员干预
ü 电隔离电子器件以避免杂散电流
ü 滑动排放模式可避免切换排放流时压力跳跃和冻结
ü 由于可拆卸校准数据芯片,可烘烤性更长
ü 设定点继电器
ü 明亮、大尺寸 OLED 显示屏(可 90° 旋转),带用户界面
ü 模拟输出、RS232C串行接口、EtherCAT®
ü 可与 VGC50x 控制器系列结合使用
ü 向后兼容 BPG402
ü RoHS 合规性
inficon 热电离真空计BPG552典型应用
· 半导体工艺中的压力测量
· 工业涂料
· 低至真空范围系统的一般真空测量和控制
inficon 热电离真空计BPG552规格
测量范围(空气、O 2、CO、N 2) 5×10 -10 … 1000 毫巴
准确性
1×10 -8 … 1×10 -2毫巴 ±15 读数
1 x 10 -2毫巴 … 1000 毫巴 读数的±30%
重复性:读数的 5%,10 -8 … 10 -2 mbar(稳定 10 分钟后)
暴露于真空的材料 不锈钢、NiFe、镀镍、哈氏合金、玻璃、铱、氧化钇 (Y2O3)、Ni、钨
inficon热电离真空计BPG552备件零件号 描述
354-420 BPG552 备用传感器头,KF25
354-421 BPG552 备用传感器头,CF40