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HMDS烘箱真空泵，HMDS烘箱无油泵
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上海隽思实验仪器有限公司具有自主开发、设计能力。服务于电子、电力、通讯、航空航天等行业；多年来，公司以“真挚的服务、优秀的品质”为宗旨，为国内外广大用户提供了周到的售前、售中、售后服务。赢得了国内外客户的*，更为我们业务的快速发展奠定了一定的基础。我们的服务也更精益求精，更完善！
公司坐落于中国上海，奉贤区柘林镇工业园区。公司拥有多台*的专业生产设备，公司是一个专注多年热处理设备、仪器设备的生产厂家，拥有高的技术人才，高素质的工作团队，丰富的生产经验。主要业务项目有：半导体湿法设备， 硅片刻蚀机，清洗设备，HMDS预处理系统，HMDS烤箱，无尘烤箱，无氧烤箱，无尘无氧固化烤箱，真空烤箱，真空无氧固化烤箱，干燥烘箱，黑蒜设备，环境可靠性设备，电线电缆检测仪器等设备，同时可根据客户要求设计非标类的产品。
真诚的希望各界用户给我们提出宝贵的意见及建议，以便我公司为您提供更周到、更完善的服务，做到让您满意！
详细信息
HMDS烘箱真空泵，HMDS烘箱无油泵
真空干泵具有 <>
密封设计(真空区与电机和轴承全隔开) 可提供洁净的泵内气体环路;从而消除了油或油脂带来的污染风险。
极限压力：1.33 x 102 mbar (1 x 102Torr)
入口压力：1.0 个大气压(0 psig)
冷却 方式：风冷
泵净重: 34 q (75 bs);含包装: 45 kg(100bs)
尺寸 (高x宽x长(mm))：364x 333x 485
泄漏速度(密封排气口时)：< 1="" x="" 10°="" sccs="" (1="" x="" 10="">
HMDS烘箱真空泵，HMDS烘箱无油泵用途
HMDS烘箱的作用
HMDS烘箱是将HMDS蒸汽通过干燥的真空腔内加热到一 定温度，在衬底表面上HMDS作为单层膜进行化学结合，使这样的衬底表面具有疏水性。从而增强光刻与衬底表面的粘附性。
HMDS烘箱性能
温度范围：RT+10-250℃
真空度：≤1torr
控制仪表：彩色触摸屏控制，操作更加简单，方便
HMDS工艺：蒸汽气相涂布
安全检测：超温保护，HMDS泄漏检测提示
储液瓶：HMDS储液瓶
真空泵：无油涡旋真空泵
工作室（mm）：300*300*300/450*450*450、定制
