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DZ-200 DZ-200 直流/射频探针台

型号
DZ-200

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无线电综合测试仪
上海德竹芯源科技有限公司是一家专注于功率器件、光电器件、射频器件、量子器件、MEMS传感器领域的设备销售、系统集成、设备国产化的公司。主要为高校、研究所、中试量产线及晶圆FAB厂提供半导体工艺设备、检测设备、封装设备、测试设备。目前公司已成为国内少数几家专业提供半导体工艺、检测、封装、测试整体解决方案的企业。公司主要成员为复旦大学、上海微系统所等半导体相关专业博士,拥有一支经验丰富、技术过硬的团队。能够出色地完成售前售中、售后的服务。目前公司已与众多国际半导体设备企业建立了良好的合作关系(如:EVG、SAWNATEC、SENTECH、PICOSUN、SYSKEY、 Mavemn Panalyrical、PHL-CHINA、TEMPRESS,ROHDE&SCHWARZ、MPI等),致力于根据用户的科研方向和量产的器件类别提供相应的全套设备选型和工艺整体解决方案。

详细信息

DC直流 /(IV、CV)测试

低电流(100f)测试

器件表征测试、WLR 可靠性

大功率 / 大电流 / 大电压测试等

RF 射频测试

1/f 噪声测试

FA 失效分析测试

样品台

样品台:4 英寸 - 12 英寸

高温:300°C

大电压大电流:3000V / 1500A


定位器

X-Y-Z 移动行程:12mm×12mm×12mm

移动精度:10um / 2um / 0.7um / 0.5um


线缆

同轴线 / 三同轴线

漏电精度:10pA / 100fA / 10fA


探针

针尖直径:0.2um / 1um / 2um / 5um / 10um / 20um

针尖材质:钨钢 / 铍铜


屏蔽系统

EMI / RFI / 不透光屏蔽,超低噪声,低泄漏测量功能


防震系统

阻尼隔振系统 / 精密气浮隔震台

平面度:< 0.05mm/m2

表面粗糙度:< 0.8μm

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产品参数

规格类型

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