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电子工业清洗超纯水设备
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半导体晶片切割超纯水设备
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半导体(semiconductor)指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体材料很多,按化学成分可分为元素半导体和化合物半导体两大类,锗和硅是的元素半导体。化合物半导体包括Ⅲ-Ⅴ族化合物:砷化镓、磷化镓等;Ⅱ-Ⅵ族化合物:硫化镉、硫化锌等;氧化物:锰、铬、铁、铜的氧化物,以及由Ⅲ-Ⅴ族化合物和Ⅱ-Ⅵ族化合物组成的固溶体:镓铝砷、镓砷磷等。除上述晶态半导体外,还有非晶态的玻璃半导体、有机半导体等。
创纯半导体超纯水设备工艺流程为:原水箱---原水泵---多介质过滤器---活性炭过滤器---加药系统---保安过滤器---一级增压泵---一级反渗透---中间水箱---二级增压泵---二级反渗透---二级纯水箱---EDI泵---紫外线杀菌器---保安过滤器---EDI装置---抛光树脂---氮封水箱---用水点
整套半导体超纯水设备采用一用一备系统,两套系统分开独立但同时又保持联动关系。在设备维护保养或单一系统出现问题时,另一套系统及时启动,以保证整个产线不间断供水。
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