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TCwafer测温晶圆

型号
广东瑞乐半导体科技有限公司

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生产厂家
RTP退火炉,TCwafer测温晶圆,碳化硅载盘

广东瑞乐半导体科技有限公司成立于2016年07月27日,注册地位于佛山市禅城区南庄镇季华西路78号佛山国际陶瓷卫浴城内A区18座13号首层商铺(住所申报),法定代表人为陈雪娟。经营范围包括一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;机械设备销售;机械设备租赁;泵及真空设备销售;半导体器件专用设备制造;半导体器件专用设备销售;电子专用材料销售;电子测量仪器销售;电子测量仪器制造;仪器仪表制造;仪器仪表销售;智能仪器仪表制造;智能仪器仪表销售;电工仪器仪表制造;电工仪器仪表销售;电子专用设备制造;电子专用设备销售;软件开发;软件销售;光学仪器制造;光学仪器销售;电子元器件与机电组件设备制造;电子元器件与机电组件设备销售;五金产品制造;五金产品批发;五金产品零售;工业自动控制系统装置制造;工业自动控制系统装置销售;租赁服务(不含许可类租赁服务);专用设备修理;通用设备修理;仪器仪表修理;计算机软硬件及辅助设备零售;计算机软硬件及辅助设备批发;机械零件、零部件加工;机械零件、零部件销售;针纺织品销售;塑料制品销售;金属制品销售;电线、电缆经营;国内贸易代理;货物进出口;技术进出口。

详细信息

TC Wafer 选配软件·概述配合 TC Wafer 温度数据读取适配的多功能仪器。内含软件可以读取 TCWafer 测温数据并进行分析。·特点• 传输通道数量可定制• 优异的软件功能, 可用图形及颜色显示温度分布状况• 数据可储存调用• 可提供各个量温点的温度曲线图及温度剖面图。

TC WAFER则是直接镶嵌于晶圆表面的温度传感器,可以实现晶圆表面温度的实时测量。借助于放置在晶圆表面特定位置之温度传感器,可获得这些特定位置的真实温度测量值以及整天晶圆温度分布;同时,也可利用此传感器来持续监控在热处理工程中晶圆暂态温度变化,例如:升温,降温过程及延迟周期等!(温度的均匀与否,良率)


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