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七星流量计一家专业提供流量测控解决方案的供应商，传承在气体流量测控领域40多年研发生产实力，始终以技术创新为基点，致力于为客户过程控制中精确测量控制气体的研究；致力于成为的气体流量测控产品服务商；致力于帮助客户提升设备性能；致力于实现核心零部件中国造的产业梦想。七星流量计气体流量测控产品不断迭代升级，深挖技术，优化产品，拓宽产品线，为半导体、燃料电池、太阳能、真空镀膜、分析仪器等行业客户需求提供定制化气体测控解决方案及产品维护服务，其营销服务体系覆盖欧、美、亚等主要国家和地区。未来的七星流量计，将继续专注气体流量测控，深耕发展，未来，坚持以客户需求为导向的持续创新，中国MFC行业发展。

详细信息

优势

• 高纯度工艺供气生产线
• 阀体材质选用二次熔炼的SUS316L，安全可靠
• W-seal和C-seal 可供选择

技术参数

尺寸	SEMI F83-0304 1.125” W seal 2 Port	SEMI F84-0304 1.125” W seal 3 Port	SEMI F86-0304 1.125” C seal 2 Port
Cv value( Cv值)	0.24	0.24	0.27
使用压力	1.0MPa(G)
使用温度范围	-10～80℃
外部泄露	≦3x10^-12 Pa・m³/sec Helium
阀座泄露	≦3x10^-10 Pa・m³/sec Helium