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FPEH-Robot Sorter 晶圆分拣机器人

型号
FPEH-Robot Sorter
孚光精仪公司

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孚光精仪公司品牌源于早期的东欧地区和德国进口光学材料和仪器的进口服务。公司创始股东们足迹遍布捷克,爱沙尼亚,罗马尼亚,白俄罗斯,立陶宛,法国,英国,意大利,奥地利,丹麦,比利时,以及德国 汉堡,法兰克福,柏林,慕尼黑,纽伦堡,德累斯顿等科技强国和强市,对整个欧洲特别是东欧和德国的技术产品和精密仪器的质量有可靠的把握。长期以来,德国在科学研究、技术创新和仪器研发领域具有的优势。德国的科学仪器以技术*,质量可靠而著称。孚光精仪早期专注于选择德国和东欧国家可靠的供应商,为用户提供了道质量保障。公司派送员工前往原厂进行技术培训,从而具备为远东地区用户提供快速高效的技术服务能力,这一举措深得用户和制造商的高度赞誉。因此,孚光精仪的事业在服务客户的同时获得超常发展,快速成长为*仪器的规模型供应商和技术服务商。目前,孚光精仪已经把产品原产地扩展到整个欧洲和美国,形成了以欧洲和美国为供货来源地的良好局面。

详细信息

晶圆分拣机器人是为大尺寸晶圆硅片分拣分选设计的自动晶圆分拣机系统,可分选高达12''尺寸晶圆。
晶圆分拣机器人采用总体模块化概念涉及,在所需组件的集成方面具有组装的灵活性,具有生产时间短,寿命长,低维护成本优势。
晶圆分拣机器人机器人操作系统
单臂单效应机器人
具有两个EndEffector的双臂机器人
跟踪以扩大机器人的访问区域
所有EndEffector都是根据您的晶片定制的,以确保和安全的运输。
晶圆分拣机器人计量模块
许多E+H标准MX系列晶圆测厚仪和晶圆翘曲度仪器用于机器人分拣机,例如:
MX 10x系列(厚度)
MX 20x系列(几何/平面度:厚度、翘曲、应力)
MX 60x系列(厚度、电阻率)
MX 70x系列(厚度、翘曲度、波纹度、粗糙度)
软件与自动化
我们所有的晶圆测厚仪和晶圆翘曲度仪器系列都使用同一个Windows操作软件MX-NT V2。它结合了20多年半导体需求方面的经验。
通过高度灵活和可重复使用的配方,可以根据任何获得的特征进行排序,例如根据厚度分组或OCR代码。
所有数据都可以存储在MS SQL Server数据库中,也可以存储在MS Access数据库中。
功能强大的软件选项,如SECS/GEM自动化接口或我们类似的专有简单Soap Server One(SO)接口,允许将E+H晶圆分拣机器人工具无缝集成到您的生产工厂中。

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