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IXRF磁控离子溅射仪MSP-2S/MSP-Mini
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详细信息
IXRF磁控离子溅射仪MSP-2S/MSP-Mini利用磁控电极在低电压下对样品溅射金属靶材，为SEM样品表面喷镀金属镀层，方便电镜观察，而MSP-mini是一款体积小巧，操作简便，无需通入特殊气体，使用时只需设置喷镀时间即可。
主要特点：
1. 阳极磁控型靶材水平装入：极低的放电电压减弱样品受到的例子损伤和热损伤；
2. 浮动样品台设计：使电流不通过样品，温度上升很少，同时减弱离子碰撞引起的损伤；
3. 操作简便：通过定时器控制从真空排气到启动放电电压的整个过程。
应用领域：
离子溅射仪在扫描电镜中应用十分广泛，通过向样品表面喷镀金、铂、钯及混合靶材等金属消除不导电样品的荷电现象，并提高观测效率，另外可以使用喷碳附件对样品进行蒸碳，实现不导电样品的能谱仪元素定性和半定量分析。
