洁净烘箱真空烘箱

本公司无尘烘箱系列、真空烘箱系列用于电子光电半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、

玻璃等材料涂胶 前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤；也适用于电子液晶

显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门；也可用于非挥发性及非易燃易爆物

品的干燥、热处理、老化等其他使用。

温度范围：RT～300℃

温度波动：±1.0℃

温度均匀：±3.0℃%

升温速率：RT~100℃ 约15分钟

控制方式：微电脑智能LED双数显高清自动温控仪表，PID自动演算PV/SV同时显示，

超温抑制，超调，控温精准，过冲低，BZ 警报→故障指示灯量及 BZ 警报;

控制调功：电流控制器为SSR无接点Relay，保持电流高稳定性;

显示方式：高清数显型控制面板，设定温度与显示温度独自显示;

记忆设计: 独立式智能温度设定，具有记忆功能，无论开关机或断电后都无需重新设定;

传感精度：高精度温度传感,误差小于±1℃,专用釆集模块设计，测温准确;

柜体结构：采用精密切割设备,自动冲床和数控剪板机,折弯机等设备生产,制造精度高,采用

OTC焊接设备,焊接柜体密闭性好;

内胆材质：采用镜面不锈钢材质制作,高强度柜身,重叠式结构设计,密封性能;

外箱材质：采用冷板S41经防锈处理后外加静电喷粉,颜色为乳白色,美观大方;

保温材料：采用厚度90毫米硅酸高级保温棉，六面保温断热，机台外表温度小于 45℃;

密封方式：气密式设计,门和箱体接合处采用硅橡胶密封条,耐老化,确保箱内密封;

柜门结构：单门式设计,压力门扣，一体化设计,密封性佳;

底部结构：双重式结构,底部为移动脚轮或平底固定,方便移动及固定;

承重层板：上下间距任意可调,左右出风板上安装搁档，隔板放在搁档上;

注：有各种型号洁净烘箱、真空烘箱，也可根据客户要求定制。