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压电晶体生长炉

型号
天通吉成机器技术有限公司(简称TDG-MT)是天通股份(SH.600330)旗下装备产业的全资子公司,主要业务是粉体材料、晶体材料、显示材料三大行业专用设备的研发、制造、销售与服务,业务范围涵盖天通日进精密技术有限公司、天通新环境技术有限公司、浙江吉宏精密机械有限公司、湖南新天力科技有限公司等子公司。公司致力于智能化专用设备的技术研发和工艺服务,竭诚为粉体材料行业提供“成型--烧结--磨削”等成套专用设备,为晶体材料行业提供“生长--截断--滚圆--切片--倒角--磨抛--清洗--检测”等成套专用设备,为显示材料行业提供自动化成套专用设备,同时提供污泥干化机等环境工程专用设备。新时代、新使命,公司将聚焦新材料、新能源、半导体行业本土化装备的新需求。始终不遗余力的在技术创新、产品质量和客户服务等方面努力进取;力争成为有人才优势、有核心技术、有集成能力、有产业规模、有行业影响力、有自主品牌的智能装备制造企业。公司愿与广大客户协同创新,合作发展。

详细信息

 

压电晶体生长炉


 

产品简介:

本设备是公司新研发的用于钽酸锂(LT)和铌酸锂(LN)等材料的压电晶体生长的设备。主要用于CZ法单晶的生产,全自动控制系统可提高晶体品质和一致性,过程可控稳定性高,减少人工干预、工作强度和成本。


 

压电晶体生长炉 技术参数

 

技术参数:

炉体内腔尺寸:φ800mm×1000mm

外形尺寸:1000mm×1000mm×2500mm

长晶尺寸:6英寸

籽晶轴提拉行程:450mm

提拉运动最小线速度:0.01mm/hr

快速提拉速度:200mm/min

籽晶轴转动速度:0.1100r/min

称重系统:称重传感器量程20kg;信号放大器显示精度0.01g

控制软件:提拉法等径控制软件,采用上称重方法来控制晶体直径,晶体形状可随意设计,PID及运动参数可随晶体形状过渡变化,屏幕上数据交叉显示提供生长过程中数据综合分析工具。

加热电源:中频感应加热

加热输出功率:30KW

真空系统:机械泵抽真空

水冷系统:炉腔、加热线圈流量控制循环冷却。

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