LED封装 英国Edwards爱德华真空泵iXH645H干泵

LED封装真空泵Edwards爱德华真空泵半导体zhong央真空系统应用介绍

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LED封装工艺中，用到真空泵和空气压缩机，因为封装工艺点粉灌胶水都要先抽真空，把气泡排掉，所以要用真空泵；封装的设备都是用气压驱动的，所以要用大匹的空压机。

LED封装真空应用，大部分仍在按传统的思路采用干式小旋片泵，或者采用真空发生器，耗费昂贵的压缩空气。

Edwards爱德华iXH645H干泵，新设备经过优化，适用于LED制造中使用的MOCVD工艺，以及在栅堆叠中使用III-V材料的化合物半导体制造工艺。

iXH645H提供了高的气流量，并能够在LED制造设备所需的高负载下连续工作。iXH系列干泵采用的，大限度地减少维护需求，并实现正常运行时间大化，有助于降低成本。

LED和化合物半导体制造工艺通常使用大流量氕气和高腐蚀性氨气，具有出色的氢气抽空性能并采用耐腐蚀设计，包括一个保护泵密封物的氮气吹扫屏障。XH645泵具有高温工作能力，有助于防止可能出现的磷化合物冷凝。另外，该泵的油润滑和密封省去了定期保养需求，同时其散热和电机设计可以防止出现过热、电机过载或工作区域受限等问题。

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