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M264255 磁控溅射仪 型号:LH12-SC-SU-I
- 型号
- M264255
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详细信息
磁控溅射仪 型号:LH12-SC-SU-I
参数 指标石英仓尺寸 150X120MM样品台尺寸 70mm溅射面积 50mm高真空度 5pa可通气体 氩气，氮气等惰性气体高溅射速度 8nm/min整机功率 200W机器尺寸 360(W)X310(D)X150mm(H)
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