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电子束蒸发镀膜系统

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苏州星源洁净环境科技有限公司

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远程在线环境监控系统、尘埃粒子计数器、浮游菌采样器、风量仪、高效过滤器检漏、泄压阀(压缩空气质量检测仪)、气流流行检测仪(烟雾发生器)、气溶胶发生器、气溶胶光度计、温湿度压差测试仪,臭氧浓度检测仪、风速仪、声级计、照度计、压差表(计)等
  苏州星源洁净环境科技有限公司Suzhou Xingyuan Clean Environment Technology Co. , Ltd.成立以来致力无尘室环境参数测试、微粒子测量及局部净化设备设计,环境在线实时监测系统等研发与创新,为用户提供完备的环境测试解决方案和服务。目前公司主打两条产品线,一条以洁净室方面上、中、下游整体解决方案为主导;一条以滤料、滤器、滤材等性能参数检测为主导的技术定制类测试台。目前,公司正逐步接轨技术引入中国,整合自身优势,围绕无尘室整体拓展整合链,逐步构建环境参数检测的便携化、模块化、智能化。公司是国内专业从事净化车间、实验室检测的技术服务商,与国内外许多公司合作,同时还自主研发诸多高科技产品,产品应用领域广泛,涉及制药行业、生物制剂、医疗器械、电子、化工等等行业,产品远销国内外,受到客户的*,我们是净化领域的追赶者,秉承传统技术的基础上不断创新,不断突破。
 
  公司的主营业务是:
 
  1.检测仪器:
 
  远程在线环境监控系统、尘埃粒子计数器、浮游菌采样器、风量仪、高效过滤器检漏、泄压阀(压缩空气质量检测仪)、气流流行检测仪(烟雾发生器)、气溶胶发生器、气溶胶光度计、温湿度压差测试仪,臭氧浓度检测仪、风速仪、声级计、照度计、压差表(计)等
 
  2.净化设备:
 
  净化工作台,生物安全柜、称量间、传递窗、风淋室、层流车、层流罩、FFU、高效过滤器等
 
  3.第三方检测:
 
  检测项目:洁净间的尘埃粒子数、沉降菌、浮游菌、压差、换气次数(自净时间),风速、新风量、照度、噪声、温度、相对湿度等。

详细信息

详细介绍

电子束蒸发镀膜系统









电子束蒸发镀膜系统
(E-Beam Evaporator System)




仪器介绍:
美国专业的制造商,拥有20多年丰富的经验在:电子束蒸发设备、磁控溅射设备、热蒸发设备等。有以下功能模式:
electron beam evaporation, 电子束蒸发;
resistive evaporation,热阻蒸发;
ion beam assisted deposition (IBAD), 离子束辅助蒸发镀膜;
effusion cell,泻流源。


技术参数:
Vacuum Chamber: 304不锈钢圆柱形腔体,标准直径有18英寸和24英寸 –   scaled to match the specific application;
Pumping: 分子泵或冷凝泵;
Load Lock: 手动传片或自动传片,适合各种形状尺寸的小片到200mm大的圆片,高真空背景传递;
Process Control: PC / PLC自动控制界面,菜单控制,数据获取和远程控制 ;
In-Situ Monitoring & Control: QCM膜厚监控,光学膜厚监控;
RGA残余气体分析;
Substrate Fixture: 单片,多片,行星式衬底夹具;
Substrate Holders: 可加热,冷却,偏压,旋转;
Ion Source: 衬底预清洗,纳米表面改性。

Deposition Techniques:
Magnetron Sputtering  RF, DC, or Pulsed-DC,具有射频溅射,直流溅射,脉冲直流溅射;
Electron Beam Evaporation,电子束蒸发;
Thermal Evaporation,热蒸发;
Organic Evaporation for OLED/ PLED and Organic Electronics,有机蒸发(用于OLED/ PLED和有机电子);
Glancing Angle Depostion (GLAD),倾斜角沉积
Cathodic Arc Plasma Deposition,阴极等离子体辅助沉积。









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