Physik Instrumente电容式单电极传感器

D-510 PISeca 电容式传感器

具有出色位置分辨率的单电极传感器

·         非接触式距离测量

·         位置感应

·         振动测量

·         亚纳米级分辨率

·         灵活的测量范围

·         易于集成

电容式位置传感器实现高的精度和使用寿命

结合用于信号处理的电子设备，对于准静态应用，可以达到亚纳米级的分辨率。对于高动态应用，带宽可以增加到10 kHz，其中仍然可以达到1 nm范围内的分辨率。线性误差小于0.1%。

定制版本/双电极传感器

除了此处列出的标准传感器外，PI还提供一系列特定于应用的定制版本，例如，测量范围，几何形状或材料都适合客户要求。还提供定制的电子产品。

D-100 系列中的双电极传感器可满足对线性度和分辨率的高要求。

易于操作和集成

所有 PISeca 传感器头都配有 LEMO 连接器，便于安装和更换。均匀的轴厚度确保了兼容性和灵活性。用于连接评估电子设备的电缆有多种型号，因此必须单独订购。

应用领域

工业和研究。半导体制造和检验。纳米计量学。主动减振器。精密加工。

E-509.E PISeca 传感器评估/控制器

三轴伺服控制器模块，E-500压电控制器系统

·         E-509.E03： 电子模块，3轴，用于电容式传感器

·         E-509.E3：传感器模块，3轴，带用于压电系统的附加伺服控制器

·         用于 E-500 / E-501 机箱的插入式模块

·         ILS 电路优化了电容式传感器线性度

·         可选测量范围

·         可变带宽（可选）

用于PISeca的信号评估和伺服控制器模块

E-509。E03 和 E-509。E3 可作为 E-500 / E-501 机箱的插入式模块提供，用于 PISeca 系列中的高分辨率电容式单板传感器：

·         E-509.E03 用于信号评估

·         E-509.E3 作为伺服控制器模块

E-852 PISeca 信号评估

用于电容式单电极传感器

·         用于 PISeca 电容式传感器的廉价系统解决方案

·         通过集成线性化功能 （ILS） 实现出色的线性度

·         可选带宽从 10 Hz 到 10 kHz

·         可变测量范围

·         LED 条测量范围显示屏，易于集成

·         多轴应用的外部同步

集成线性化系统 （ILS），可实现高精度

在电子元件中，集成的线性化系统可确保高的精度。补偿传感器和测量表面之间平行度误差的影响，从而保证出色的线性度（线性误差低于0.1%）。

多轴应用的外部同步

当多个传感器系统一起使用时，只需通过 PISeca 电子设备的 I/O 线路即可完成同步。

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