P-725.xCDE2 PIFOC Physik Instrumente长行程物镜扫描仪

Physik Instrumente长行程物镜扫描仪

P-725.xCDE2 PIFOC

用于显微镜物镜的高精度定位器和扫描仪

行程范围达 800 µm

与电动驱动器相比，响应速度明显更快，使用寿命更长

具有亚纳米分辨率的物镜精细定位

使用电容式传感器进行直接位置测量：高线性度

与 Metamorph® 成像软件兼容

Ø 29 mm 大通光孔径

Physik Instrumente长行程物镜扫描仪应用领域

超分辨率显微镜

光盘显微镜

共聚焦显微镜

2光子显微镜

3D 成像

筛选

干涉测量法

测量技术

自动对焦系统

生物技术

半导体检测

PICMA® 压电执行器具有出色的使用寿命

PICMA® 压电执行器是全陶瓷绝缘的。这可以保护它们免受因漏电流增加而导致的潮湿和故障的影响。PICMA® 执行器的使用寿命比传统的聚合物绝缘执行器长十倍。已证明 1000 亿次循环无一次故障。

具有电容式传感器的亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，无需接触。它们保证出色的运动线性度、长期稳定性和 kHz 范围内的带宽。

零间隙挠性导轨实现高导向精度

挠性导轨免维护、免摩擦和免磨损，并且不需要润滑。它们的刚度允许高负载能力，并且它们对冲击和振动不敏感。它们在很宽的温度范围内工作。

运动P-725.1CDE2P-725.4CDE2P-725.8CDE2宽容

活动轴ZZZ 

Z 轴行程范围100微米400微米800 微米+20 / -0 %

Z 轴行程，开环120微米420微米840 微米±20%

Z 中的线性误差0.01%0.01%0.02% 

偏航（θX 方向的旋转串扰，Z 方向的运动）± 10 µrad± 10 µrad± 50 µrad 

音高（θY 方向的旋转串扰，Z 方向的运动）± 10 µrad± 45 µrad± 50 µrad 

定位P-725.1CDE2P-725.4CDE2P-725.8CDE2宽容

Z 轴系统分辨率0.2 纳米0.2 纳米0.8 纳米 

Z 轴分辨率，开环0.1 纳米0.1 纳米0.4 纳米类型。

Z 轴小增量运动1纳米4纳米5纳米 

Z 轴 10% 步长的稳定时间14 毫秒22 毫秒39 毫秒±10%

Z 轴位置噪声0.1 纳米0.1 纳米0.4 纳米大限度。

集成传感器电容式直接位置测量电容式直接位置测量电容式直接位置测量 

传感器噪声，1 西格玛0.2 纳米0.2 纳米0.8 纳米 

点重复性，10% 步长，1 西格玛10纳米10纳米50纳米 

驱动器属性P-725.1CDE2P-725.4CDE2P-725.8CDE2宽容

驱动器类型PICMA®PICMA®PICMA® 

Z 方向的电容3.2 µF6.4 µF12.8 µF±20%

机械性能P-725.1CDE2P-725.4CDE2P-725.8CDE2宽容

指导带杠杆放大的挠性导轨带杠杆放大的挠性导轨带杠杆放大的挠性导轨 

Z 轴刚度0.5 牛顿/微米0.25 牛顿/微米0.07 牛/微米±20%

Z 轴共振频率，负载 150 g290赫兹175赫兹110赫兹±20%

Z 轴谐振频率，空载680赫兹400赫兹230赫兹±20%

物镜直径39 毫米39 毫米39 毫米大限度。

允许的 Z 轴推力100牛100牛100牛大限度。

Z 方向的许用拉力20牛20牛20牛大限度。

总质量280 克280 克350 克±5%

材料不锈钢、铝不锈钢、铝不锈钢、铝