ADL直流电源GS 05 / 800 V
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详细信息
ADL直流电源GS 05 / 800 V
ADL GS 05 / 800 V 是德国 ADL 面向小型磁控管推出的风冷直流溅射电源，额定功率 500 W、max电压 800 V（正极接地）、电流 0.9 A，采用 ½ 19 ″ 3U 插箱结构，为空间受限的实验室或台式镀膜机提供高压直流源，以“紧凑、高效、快弧处理、易集成”的优势，成为研发机构与小型产线实现高品质薄膜沉积的优质直流电源平台。
核心技术参数
| 产品型号 | ADL GS 05 / 800 V |
| 额定功率 | 500 W |
| max输出电压 | 800 V（正极接地） |
| 额定输出电流 | 0.9 A |
| 整机结构 | ½ 19 ″ 3U 插箱结构 |
| 整机深度 | 560 mm |
| 整机重量 | 11 kg |
| 运行模式 | 恒压/恒流/恒功率三模式 |
| 输出精度 | ±1 % |
| 弧处理参数 | 检测延迟 6 µs、灭弧时间 3 ms，电弧能量 <1 mJ |
| 冷却方式 | 风冷 |
| 输入电压 | 单相 230 V（±10 %） |
| 平均时间（MTBF） | >100 kh |
多模式精准控制与远程集成
该电源支持“恒压/恒流/恒功率”三模式运行，设定值 0-100 % 可调，输出精度 ±1 %，能够满足不同实验室镀膜工艺与小型产线的参数调试需求，保障输出的稳定性与精准性。
设备前面板配备 3½ 位 LED 实时显示电压、电流与功率，方便工艺人员现场快速读取数据并调整参数。同时也可通过 AS-4、RS-232/485 或 Profibus 插卡实现远程给定与回读，满足自动化生产线闭环控制需求，便于无缝集成到整体生产流程中。
高速弧处理保障镀膜品质
针对磁控溅射易出现的微弧问题，GS 05 / 800 V 内置高速弧处理电路，检测延迟 6 µs、灭弧时间 3 ms，电弧能量 <1 mJ，可自动降低输出功率并瞬时恢复，无需外部编程，显著减少靶材表面“打弧”斑点，提高薄膜附着力与沉积速率，为高品质薄膜沉积提供有力保障。
风冷稳定运行与便捷维护
该电源采用风冷设计，无需外接水冷装置，max噪声 70 dB(A)，在环境温度 40 °C 内可实现满载连续运行，适配实验室与小型生产线的使用环境，无需额外配备冷却设备，节省安装与使用成本。
设备输入电压支持单相 230 V（±10 %），内置 EMI 滤波与超温、过流、短路保护，有效保障设备运行安全，平均时间（MTBF）>100 kh，日常维护仅需更换风扇滤网，操作简便，大幅降低后期运维难度与成本。
典型应用场景与扩展能力
该电源典型应用包括实验室玻璃功能膜、柔性显示 ITO、太阳能 AZO、工具硬质涂层（TiN、CrN）及微电子金属互连，能够为各类小型精密镀膜工艺提供稳定可靠的直流能源支撑。
同时它亦可与 ADL GG03 脉冲加速器组合，构成 10 kHz 中频脉冲电源，实现高致密度、低缺陷纳米镀层，拓展了工艺应用边界，满足更高精度、更高品质的薄膜沉积需求，是研发机构与小型产线的优质配套设备。
ADL直流电源GS 05 / 800 V
